提到激光除锈，大部分人会想到手持式激光除锈机，它的确操作简单，但只能用于粗糙的工件除锈。激光除锈技术应用广泛，尤其在高精密器件除锈中，控制度和技术性都高了很多。为了提升激光除锈的效果，会用到一些检测工具，主要用于检测激光除锈后干净程度、对基底的损伤程度、基底金属光滑程度等，今天我们罗列一些常用的检测仪器及它的使用方法：

1.高分辨率透射电子显微镜。高分辨率透射电子显微镜（High-Resolution Transmission Electron Microscope, HRTEM）是一种用于观察和研究材料的微观结构的仪器。它基于透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope, TEM）的原理，但具备更高的分辨率和更强的成像能力。HRTEM使用电子束而不是光束来照射样品，并通过透射和散射的电子束来生成图像。这种高能电子束的穿透性使得HRTEM能够观察到微小到纳米级的结构。HRTEM的分辨率通常可以达到亚纳米级别，甚至更高。这意味着它可以清晰地观察到细小的结构和原子级别的细节。这对于研究纳米材料、晶体结构、晶界、原子排列等具有重要意义。此外，HRTEM还可以通过选择不同的入射角度、使用不同的对比增强方法（如高角度偏转错位成像，High-Angle Annular Dark-Field Imaging）来提供更丰富的信息，比如晶体缺陷、界面形貌等。

2.台阶仪。它是用来分析对金属基底伤害程度的仪器。台阶仪"是指一种用于测量材料表面粗糙度的仪器，也称为"表面粗糙度仪"或"表面轮廓仪”。它的原理是通过对材料表面进行扫描或触探，记录表面的高度变化，并以数字方式表示。台阶仪通常包括一个探测头或扫描探针，它可以沿材料表面移动，并记录表面的高度变化。这些高度变化通常以形成的数字曲线或三维图像的形式显示出来。这些数据可以用于计算出表面的粗糙度参数，比如均方根粗糙度（Root Mean Square, RMS）、峰谷值（Peak-to-Valley, PV）等，从而量化表面的粗糙程度。台阶仪在许多领域都有广泛的应用，特别是在材料科学、制造业和质量控制领域。它可以用于检测表面缺陷、评估加工质量、优化产品设计等。台阶仪的精度和测量范围通常取决于仪器的类型和配置。

3.SEM形貌分析仪。它是用于高精密器件除锈结果分析的仪器。形貌分析仪是一种常用的表面形貌表征仪器，它使用高能电子束扫描样品表面，获取样品的高分辨率图像，并提供有关样品表面形貌、形态、结构等信息。还可以执行荧光分析、元素分析、光电子能谱、电子束刻蚀等功能。SEM形貌分析仪的主要工作原理是利用电子束与样品表面相互作用，产生一系列信号。

4.EDS能谱分析仪。它主要用于分析除锈干净程度的仪器。EDS能谱分析仪（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）是一种常用的元素分析技术，广泛应用于材料科学、纳米技术、半导体、地质学等领域。它通常与扫描电子显微镜（SEM）结合使用，用于确定样品中的元素组成和分析样品的化学成分。EDS能谱分析仪的工作原理是通过扫描电子显微镜的电子束与样品相互作用产生的X射线进行元素分析。

通过以上工具对激光除锈效果进行检测反馈，可以实现特定的清洗效果，比如，增加金属表面的粗糙度，增加金属抗氧化性，增加金属表面硬度，增加金属的疏水性和亲水性等等。根据目标不同，设定不同的激光参数和工艺流程。